為滿足精密設(shè)備的正常使用要求，對(duì)設(shè)備生產(chǎn)環(huán)境中振幅微 小、振動(dòng)能量主要集中在低頻段的振動(dòng)采取的一系列技術(shù)措施

3.0.1薄膜太陽(yáng)能電池工廠設(shè)計(jì)應(yīng)合理利用資源，保護(hù)環(huán)境，并 應(yīng)防止在生產(chǎn)建設(shè)活動(dòng)中產(chǎn)生的廢氣、廢水、廢渣、粉塵以及噪聲、 振動(dòng)、電磁波輻射對(duì)環(huán)境的污染和危害

.0.2 薄膜太陽(yáng)能電池工廠設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 根據(jù)生產(chǎn)工藝的特點(diǎn)采用新技術(shù)、新設(shè)備、新材料； 2 滿足設(shè)備安裝、調(diào)試檢修、安全生產(chǎn)、維護(hù)管理的要求： 3 采取措施滿足消防安全的要求； 4 采取節(jié)約能源措施； 5 滿足生產(chǎn)所需要的環(huán)境要求； 6 提高信息化運(yùn)行、維護(hù)和管理能力。 .0.3 薄膜太陽(yáng)能電池工廠的設(shè)計(jì)能力應(yīng)符合經(jīng)濟(jì)規(guī)模的要求

4.1.1 薄膜太陽(yáng)能電池工廠的工藝設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 確保生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量； 2 確保生產(chǎn)人員的勞動(dòng)安全，減輕勞動(dòng)強(qiáng)度； 3 確保生產(chǎn)線物流順暢； 4 具有靈活性和適應(yīng)性； 5 有利于降低工程造價(jià)和運(yùn)行費(fèi)用。 4.1.2 薄膜太陽(yáng)能電池工廠的工藝設(shè)計(jì)參數(shù)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的 特點(diǎn)確定，并應(yīng)符合下列規(guī)定： 生產(chǎn)環(huán)境、動(dòng)力品質(zhì)參數(shù)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝的要求； 2 原輔材料、成品儲(chǔ)運(yùn)設(shè)施應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝的要求； 3 生產(chǎn)空間、面積、動(dòng)力需求應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)大綱的要求： 4 宜預(yù)留生產(chǎn)線產(chǎn)能提升、升級(jí)改造所需的空間、面積、動(dòng)力 需求。 4.1.3與生產(chǎn)工藝直接相關(guān)的生產(chǎn)部門宜采用連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的生產(chǎn) 組織方式。

4.2.1薄膜太陽(yáng)能電池工廠的生產(chǎn)加工工序可按附錄A 藝流程確定。

4.2.2薄膜太陽(yáng)能電池工廠應(yīng)配置輔助生產(chǎn)設(shè)施。

1 生產(chǎn)設(shè)備的大修，儀器儀表的校驗(yàn)： 2 生產(chǎn)工藝過程需使用的工具、夾具、模具的制作和修理；

原輔材料及成品的廠外運(yùn)輸； 潔凈服的清洗； 廢液、廢玻璃和其他固體廢棄物的回收處理

3.1 薄膜太陽(yáng)能電池工廠中生產(chǎn)區(qū)的工藝區(qū)劃應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 生產(chǎn)線應(yīng)根據(jù)工藝加工流程順序布置； 相同工序的設(shè)備宜集中布置； 設(shè)備布置應(yīng)設(shè)置安裝、操作、維修的空間； 4 生產(chǎn)區(qū)的人流和物流出入口應(yīng)分別設(shè)置； 5 生產(chǎn)區(qū)域應(yīng)設(shè)置設(shè)備搬運(yùn)口和搬運(yùn)通道； 激光刻線和其他振動(dòng)敏感設(shè)備宜遠(yuǎn)離振動(dòng)源布置； 與生產(chǎn)密切聯(lián)系的輔助生產(chǎn)部門宜貼近生產(chǎn)區(qū)。 3.24 生產(chǎn)區(qū)設(shè)置參觀設(shè)施時(shí)，參觀區(qū)域及其通道宜與生產(chǎn)環(huán)境 離，并應(yīng)保證生產(chǎn)區(qū)域物流和人員疏散通道的通暢。 3.3薄膜太陽(yáng)能電池工廠應(yīng)設(shè)有原輔材料和產(chǎn)品倉(cāng)儲(chǔ)設(shè)施，并 符合下列規(guī)定： 1應(yīng)根據(jù)所存儲(chǔ)物料的物理化學(xué)性質(zhì)和存儲(chǔ)環(huán)境要求，分類 置各類庫(kù)房；

1應(yīng)根據(jù)所存儲(chǔ)物料的物理化學(xué)性質(zhì)和存儲(chǔ)環(huán)境要求，分類 設(shè)置各類庫(kù)房； 2主要原輔材料和產(chǎn)品庫(kù)房宜設(shè)置裝卸貨平臺(tái)

4.4.1薄膜太陽(yáng)能電池生產(chǎn)設(shè)備和輔助設(shè)備宜選擇自動(dòng)化程度 高、耗能低、排放少的設(shè)備，潔凈區(qū)內(nèi)的生產(chǎn)設(shè)備應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家 標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50472的有關(guān)規(guī)定 4.4.2生產(chǎn)線工序之間宜采用自動(dòng)傳輸設(shè)施。采用人工傳輸時(shí) 應(yīng)配置搬運(yùn)車和相應(yīng)的產(chǎn)品載具。

高、耗能低、排放少的設(shè)備，潔凈區(qū)內(nèi)的生產(chǎn)設(shè)備應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家 標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50472的有關(guān)規(guī)定。

高、耗能低、排放少的設(shè)備，潔凈區(qū)內(nèi)的生產(chǎn)設(shè)備應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家

5.1.1廠址選擇應(yīng)符合國(guó)家和地區(qū)規(guī)劃的要求，并應(yīng)節(jié)約用地和 合理用地。

理、建設(shè)條件、道路交通條件、環(huán)境保護(hù)和其他因素進(jìn)行調(diào)查研究， 并應(yīng)進(jìn)行多方案技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較確定

5.1.3廠址應(yīng)具有滿足建設(shè)工程需要的工程地質(zhì)條件和水文地

5.1.5廠址應(yīng)具有滿足生產(chǎn)、生活及發(fā)展規(guī)劃需要的水源、氣源 和電源。

勿（NO.）、氨氣等氣體或二氧化硅等粉塵的生產(chǎn)區(qū)應(yīng)位于全 頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè)。

5.2.3動(dòng)力區(qū)應(yīng)靠近負(fù)荷中心，生活服務(wù)區(qū)宜獨(dú)立集中

應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)企業(yè)總平面設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50187的有 關(guān)規(guī)定。

5.2.4甲、乙類物品庫(kù)房和甲、乙類氣體站宜獨(dú)立設(shè)置，

應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016及《特種氣體 系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》GB50646的有關(guān)規(guī)定

5.2.5廠區(qū)宜設(shè)置環(huán)形消防車道，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑

用柔性面層。廠區(qū)道路設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《廠礦道路設(shè)計(jì) 規(guī)范》GBJ22及《工業(yè)企業(yè)總平面設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50187的有關(guān) 規(guī)定。

5.3.1豎向設(shè)計(jì)應(yīng)與總平面布置統(tǒng)一考慮，并與區(qū)域總體規(guī)劃、 廠外道路、廠外排水管網(wǎng)、廠區(qū)周圍地形等相協(xié)調(diào)。 5.3.2豎向設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)地形、生產(chǎn)工藝、運(yùn)輸方式、水文地質(zhì)條件 等因素確定。

5.3.3廠區(qū)出入口標(biāo)高宜高

廠外道路標(biāo)高時(shí)，應(yīng)采取有效的場(chǎng)地排水措施。建筑物室 i標(biāo)高應(yīng)高于室外地面標(biāo)高，高差不應(yīng)小于150mm。

5.4.1 廠區(qū)的人流、物流出入口宜分開設(shè)置。 5.4.2 廣區(qū)應(yīng)根據(jù)當(dāng)?shù)匾?guī)劃設(shè)計(jì)要求設(shè)置停車場(chǎng)地 5.4.3 物料的運(yùn)輸流線應(yīng)便捷、流暢。

5.4.4工廠應(yīng)設(shè)裝卸貨區(qū)，且裝卸貨區(qū)不得占用消防通道。

6.1.1廠房平面和功能布置應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝布局、輔助設(shè)施以及 消防要求。 6.1.2廠房建筑主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及天跨度柱網(wǎng)。 6.1.3廠房圍護(hù)結(jié)構(gòu)材料應(yīng)滿足保溫、隔熱、防火、防水、防潮、防 塵要求。 6.1.4廠房變形縫不宜穿越潔凈生產(chǎn)區(qū)；當(dāng)必須穿越時(shí)，應(yīng)采取

6.1.3廠房圍護(hù)結(jié)構(gòu)材料應(yīng)滿足保溫、隔熱、防火、防水、防潮、防 塵要求。 6.1.4廠房變形縫不宜穿越潔凈生產(chǎn)區(qū)；當(dāng)必須穿越時(shí)，應(yīng)采取 保證氣密的措施，

隔聲、隔振措施，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)企業(yè)噪聲控制設(shè)計(jì) 規(guī)范》GB/T50087的有關(guān)規(guī)定。

6.2.1生產(chǎn)廠房、動(dòng)力站房和庫(kù)房的火災(zāi)危險(xiǎn)性確定應(yīng)符合現(xiàn)行 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定，生產(chǎn)廠房的 耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。

電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50472的有關(guān)規(guī)定；非潔凈 分區(qū)的劃分，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范 0016的有關(guān)規(guī)定

6.2.3每一生產(chǎn)層、每個(gè)防火分區(qū)或每一潔凈室的安全出口數(shù)

，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的有

6.2.4廠房?jī)?nèi)潔凈區(qū)的安全疏散距離應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子

工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范GB50472的有關(guān)規(guī)定；非潔凈區(qū)的安全 疏散距離應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的 有關(guān)規(guī)定。

6.2.5廠房各層外墻應(yīng)設(shè)置可供消防人員進(jìn)入的專用消防口。

6.3.1廠房?jī)?nèi)部裝修應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防 火規(guī)范》GB50222和《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50472的 有關(guān)規(guī)定。 6.3.2有爆炸危險(xiǎn)的甲、乙類物品的存儲(chǔ)間、配送間應(yīng)采用不發(fā)

1 地面應(yīng)做防凍設(shè)計(jì)，并應(yīng)采取防止地下水和地表水浸入 措施； 2 地面面層宜米用防靜電地面： 3 建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)滿足熱工性能要求： 4 建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)宜采取防潮措施，并應(yīng)提高蒸汽滲透阻

7.1.1結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)宜優(yōu)先采用新結(jié)構(gòu)、新材料、新技術(shù)，做到安全適 用、經(jīng)濟(jì)合理。

7.1.2結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)應(yīng)滿足工藝設(shè)備的微振動(dòng)控制要求

7.2.1生產(chǎn)廠房結(jié)構(gòu)布置應(yīng)適應(yīng)生產(chǎn)設(shè)備靈活布置及貨物運(yùn)輸、 裝卸等使用功能要求，宜采用大跨度柱網(wǎng)、大空間的結(jié)構(gòu)布置 形式。

7.2.3生產(chǎn)廠房的橫向、縱向溫度區(qū)段超過現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)

土結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50010規(guī)定的伸縮縫最天間距時(shí)，應(yīng)采取綜 合措施防止溫度變化和混凝土膨脹、收縮對(duì)結(jié)構(gòu)的影響

7.2.4生產(chǎn)廠房臨近物流口處設(shè)置的裝卸貨平臺(tái)和生產(chǎn)

7.2.5當(dāng)生產(chǎn)廠房屋面布置太陽(yáng)能電池陣列時(shí)，屋面布置區(qū)域和 檢修通道均應(yīng)計(jì)人實(shí)際附加荷載

7.2.5當(dāng)生產(chǎn)廠房屋面布置太陽(yáng)能電池陣列時(shí)，屋面布置區(qū)域和

微振動(dòng)控制的測(cè)試、分析、設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子 微振工程技術(shù)規(guī)范》GB51076的有關(guān)規(guī)定。

振動(dòng)評(píng)價(jià)方法和微振動(dòng)控制容許值的要求確定，并應(yīng)滿足設(shè)備制 造廠商對(duì)設(shè)備支承部位的動(dòng)態(tài)剛度標(biāo)準(zhǔn)值要求。

50021和《地基動(dòng)力特性測(cè)試規(guī)范》GB/T50269的有關(guān)

8.1.1冷熱源設(shè)置應(yīng)根據(jù)負(fù)荷特性，結(jié)合氣候特點(diǎn)、能源結(jié)構(gòu)、環(huán) 保要求綜合考慮，并應(yīng)符合下列規(guī)定： 1生產(chǎn)廠房的冷熱源應(yīng)集中設(shè)置： 2在執(zhí)行分時(shí)、峰谷電價(jià)的地區(qū)，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較，宜采用蓄 能系統(tǒng)供冷； 3宜優(yōu)先采用城市、區(qū)域供熱和利用當(dāng)?shù)毓�廠余熱。 8.1.2冷熱源設(shè)備設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定： 1設(shè)備臺(tái)數(shù)和單臺(tái)容量應(yīng)根據(jù)全年冷熱負(fù)荷工況合理選擇 并應(yīng)保證設(shè)備在高、低負(fù)荷工況下均能安全、高效運(yùn)行，冷熱源設(shè) 備不宜少于2臺(tái)； 2工藝用冷熱負(fù)荷的設(shè)備宜設(shè)置備用或在設(shè)備選型時(shí)預(yù)留 備用容量。

8.1.2冷熱源設(shè)備設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1設(shè)備臺(tái)數(shù)和單臺(tái)容量應(yīng)根據(jù)全年冷熱負(fù)荷工況合理選擇， 并應(yīng)保證設(shè)備在高、低負(fù)荷工況下均能安全、高效運(yùn)行，冷熱源設(shè) 備不宜少于2臺(tái)； 2工藝用冷熱負(fù)荷的設(shè)備宜設(shè)置備用或在設(shè)備選型時(shí)預(yù)留 備用容量。

1應(yīng)采用帶比例調(diào)節(jié)燃燒器的全自動(dòng)鍋爐，單臺(tái)鍋爐的設(shè)計(jì) 容量宜使其實(shí)際運(yùn)行效率不低于50%； 2鍋爐的大氣污染物排放限值，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《鍋爐 大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》GB13271的有關(guān)規(guī)定，并應(yīng)符合所在地區(qū) 有關(guān)大氣污染物排放要求。其煙窗的設(shè)置應(yīng)滿足當(dāng)?shù)丨h(huán)保要求。

。2.1大宗氣體供應(yīng)系統(tǒng)宜在廠區(qū)內(nèi)或廠外鄰近處設(shè)置。

大宗氣體供應(yīng)系統(tǒng)宜在廠區(qū)內(nèi)或廠外鄰近處設(shè)置 氣體純化裝置的設(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定： 氣體純化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和生產(chǎn)工藝對(duì)氣體純度、允許雜

氣體純化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和生產(chǎn)工藝對(duì)氣體純度、允許雜

8.2.3氫氣、氧氣管道采取安全技術(shù)措施應(yīng)符合下

1嚴(yán)禁穿過生活間、辦公室； 2當(dāng)必須穿過不使用此類氣體的其他房間時(shí)，應(yīng)設(shè)套管或使 用雙層管； 3應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施； 4引入管道上應(yīng)設(shè)置自動(dòng)切斷閥。 8.2.4氫氣管道的干管終端或最高點(diǎn)應(yīng)設(shè)置放散管。放散管應(yīng) 引至室外，放散管管口應(yīng)高出本建筑屋脊1.00m，并應(yīng)設(shè)置阻火器 以及防雨雪、防雜物侵入的裝置。放散管應(yīng)設(shè)防雷保護(hù)設(shè)施。

8.2.5氣體管道及閥門應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)氣體品質(zhì)的

選擇，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50472的有關(guān)規(guī)定。

8.2.6氣體管道連接應(yīng)符合下列規(guī)定：

1不銹鋼管道焊接應(yīng)采用氬弧焊，且宜采用自動(dòng)氬弧焊或等 離子熔融對(duì)接焊； 2管道與設(shè)備或閥門的連接，宜采用表面密封的接頭或雙卡 套，接頭或雙卡套的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊

8.3.1特種氣體宜采用瓶裝氣體供應(yīng)，在廠區(qū)內(nèi)應(yīng)設(shè)置儲(chǔ) 配系統(tǒng)

8.3.2特種氣體應(yīng)根據(jù)危險(xiǎn)性質(zhì)和存儲(chǔ)數(shù)量設(shè)置獨(dú)立的氣瓶間。

8.3.3廠房?jī)?nèi)自燃、易燃、腐蝕性或有毒特種氣體輸送系

1特種氣體鋼瓶應(yīng)設(shè)置在具有連續(xù)機(jī)械排風(fēng)的特種全 瓶柜中； 2排風(fēng)系統(tǒng)、泄漏報(bào)警、自動(dòng)切斷閥均應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源

3特種氣體分配系統(tǒng)設(shè)置支管或供應(yīng)多臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備使用時(shí)， 應(yīng)設(shè)置閥門箱或多路閥門箱。 8.3.4 特種氣體分配系統(tǒng)應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 設(shè)置吹掃盤； 2 設(shè)置緊急切斷裝置； 3 設(shè)置過流量控制裝置； 4 不相容特種氣體不得共用吹掃氮?dú)庠础?8.3.5 特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《特種氣體系統(tǒng) 工程技術(shù)規(guī)范》GB50646的有關(guān)規(guī)定

3特種氣體分配系統(tǒng)設(shè)置支管或供應(yīng)多臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備使用時(shí)， 應(yīng)設(shè)置閥門箱或多路閥門箱。

8.4.1干燥壓縮空氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求、供氣量

質(zhì)等因素確定，并應(yīng)符合下列規(guī)定： 1供氣規(guī)模應(yīng)按生產(chǎn)工藝所需實(shí)際用氣量及系統(tǒng)損耗量 確定； 2供氣品質(zhì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)含水量、含油量、微粒粒徑的 要求確定； 3宜選用能耗及噪聲低的無(wú)油潤(rùn)滑空氣壓縮機(jī)。 8.4.2風(fēng)冷式空氣壓縮機(jī)及風(fēng)冷式干燥裝置的設(shè)置場(chǎng)所及設(shè)備 布置，應(yīng)采取防止冷卻空氣發(fā)生短路的措施。 8.4.3壓縮空氣系統(tǒng)的管路系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子 工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50472的有關(guān)規(guī)定，并應(yīng)符合下列 規(guī)定： 1當(dāng)干燥壓縮空氣露點(diǎn)低于一76℃時(shí)，宜采用內(nèi)壁電拋光不 銹鋼管，閥門宜采用波紋管閥； 2當(dāng)干燥壓縮空氣露點(diǎn)低于一40℃時(shí)，可采用不銹鋼管或熱 鍍鋅碳鋼管，閥門宜采用球閥； 3壓縮空氣主管道的直徑應(yīng)按全系統(tǒng)實(shí)際用氣量進(jìn)行設(shè)計(jì)， 支干管道的直徑應(yīng)按局部系統(tǒng)實(shí)際用氣量進(jìn)行設(shè)計(jì)，支管道的管

.4.3壓縮空氣系統(tǒng)的管路系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《

工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50472的有關(guān)規(guī)定，并應(yīng)符合下列 規(guī)定： 1當(dāng)干燥壓縮空氣露點(diǎn)低于一76℃時(shí)，宜采用內(nèi)壁電拋光不 銹鋼管，閥門宜采用波紋管閥； 2當(dāng)干燥壓縮空氣露點(diǎn)低于一40℃時(shí)，可采用不銹鋼管或熱 鍍鋅碳鋼管，閥門宜采用球閥； 3壓縮空氣主管道的直徑應(yīng)按全系統(tǒng)實(shí)際用氣量進(jìn)行設(shè)計(jì) 支干管道的直徑應(yīng)按局部系統(tǒng)實(shí)際用氣量進(jìn)行設(shè)計(jì)，支管道的管

徑應(yīng)按設(shè)備最大用氣量進(jìn)行設(shè)計(jì)； 4當(dāng)干燥壓縮空氣露點(diǎn)低于一40℃時(shí)，管道連接的密封材料 宜選用金屬墊片或聚四氟乙烯墊片； 5壓縮空氣管道連接宜采用焊接，不銹鋼管道應(yīng)采用氬 弧焊； 6壓縮空氣管道采用軟管連接時(shí)，宜選用金屬軟管

8.5工藝真空和清掃真空

8.5.1生產(chǎn)房工藝具空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)付合下列規(guī)定： 1工藝真空系統(tǒng)的抽氣能力應(yīng)按生產(chǎn)工藝所需實(shí)際用氣量 及系統(tǒng)損耗量確定； 23 抽氣設(shè)備應(yīng)布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)： 應(yīng)選用能耗及噪聲低的設(shè)備； 工藝真空系統(tǒng)宜設(shè)置真空壓力過低保護(hù)裝置； 真空系統(tǒng)中應(yīng)至少備用一臺(tái)真空泵。 8.5.2 工藝真空系統(tǒng)的管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定： 應(yīng)布置成樹枝狀形式； 2工藝真空主管道的直徑應(yīng)按全系統(tǒng)的實(shí)際抽氣量進(jìn)行設(shè) 計(jì)，支干管道的直徑應(yīng)按局部系統(tǒng)的實(shí)際抽氣量進(jìn)行設(shè)計(jì)，支管道 的直徑應(yīng)按設(shè)備最大抽氣量進(jìn)行設(shè)計(jì)： 3工藝真空系統(tǒng)的管道材料宜選用熱鍍鋅鋼管或厚壁聚氯 乙烯管道； 4工藝真空系統(tǒng)的管道采用軟管連接時(shí)，應(yīng)選用金屬軟管； 5 工藝真空管道宜架空敷設(shè)。 8.5.3 生產(chǎn)廠房清掃真空系統(tǒng)應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 當(dāng)凈化區(qū)面積小于1000m時(shí)，可采用移動(dòng)式清掃真空 系統(tǒng)； 2清掃真空系統(tǒng)的抽氣能力應(yīng)按同時(shí)使用清掃真空點(diǎn)的數(shù) 量及每個(gè)使用點(diǎn)的抽氣量確定；

3清掃真空設(shè)備應(yīng)布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)； 4清掃真空管路應(yīng)布置成樹枝狀形式，支管路應(yīng)采用成品Y 形接頭沿抽氣方向進(jìn)入主管路： 5清掃真空管道系統(tǒng)末端宜設(shè)吹掃閥； 6清掃真空系統(tǒng)排氣應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《大氣污染物綜合 排放標(biāo)準(zhǔn)》GB16297的有關(guān)規(guī)定

9供暖、通風(fēng)、空氣調(diào)節(jié)與凈化

9.1.3生產(chǎn)工藝中散發(fā)的物質(zhì)對(duì)其他工序的產(chǎn)品質(zhì)量及人員 全衛(wèi)生有影響的凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)應(yīng)分開設(shè)置。凡屬下列情況 一時(shí)，凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)宜分開設(shè)置： 1 溫濕度基數(shù)和充許波動(dòng)范圍差別大的潔凈室： 2 凈化空調(diào)系統(tǒng)和一空調(diào)系統(tǒng)； 3 室內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱、散濕量相差大的潔凈室； 采用不同型式的潔凈室。 9.1.4 潔凈室內(nèi)的新風(fēng)量應(yīng)取下列兩款中的最大值： 1 補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新風(fēng)量之和： 保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新風(fēng)量不小于40m。 9.1.5 潔凈室與周圍空間的靜壓差應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 不同等級(jí)的潔凈室之間的靜壓差不宜小于5Pa； 2 潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa； 3 潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa

9.2供暖、通風(fēng)與廢氣處理

1供暖設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)建筑供暖通風(fēng)與空 設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50019的有關(guān)規(guī)定。 2潔凈室內(nèi)不應(yīng)采用散熱器供暖

9.2.2潔凈室內(nèi)不應(yīng)采用散熱器供暖

9.2.3嚴(yán)寒地區(qū)和寒冷地區(qū)各動(dòng)力站房應(yīng)根據(jù)工藝要求設(shè)置值 班供暖，

1化學(xué)氣沉積設(shè)備的尾氣應(yīng)設(shè)尾氣處理設(shè)備，且粉塵去除 率不應(yīng)低于99%； 2含有酸、堿廢氣的排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)獨(dú)立設(shè)置，風(fēng)機(jī)應(yīng)設(shè)置應(yīng)急 電源； 3工藝設(shè)備的排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)工藝要求設(shè)置備用風(fēng)機(jī)； 4有冷凝液產(chǎn)生的排風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)管應(yīng)設(shè)置坡度和排液口，且風(fēng) 管系統(tǒng)應(yīng)采取防液體滲漏措施； 5化學(xué)氣相沉積設(shè)備的排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)采取防火、防爆措施； 6 酸、堿、有毒排風(fēng)系統(tǒng)不應(yīng)設(shè)置熔片式防火閥； 7 酸、堿排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)機(jī)應(yīng)設(shè)置在廢氣處理設(shè)備的氣流下 游側(cè)； 8排風(fēng)系統(tǒng)的室外風(fēng)管應(yīng)根據(jù)當(dāng)?shù)貧庀髼l件采取防結(jié)露保 溫措施；

1酸、堿廢氣不宜采用固定床吸附劑方式處理； 2酸、堿廢氣宜采用淋洗方式處理，處理設(shè)備的填料層數(shù)、厚 度和噴淋藥液循環(huán)量應(yīng)經(jīng)計(jì)算確定：處理設(shè)備的加藥、補(bǔ)水、排污 和液位控制應(yīng)采用自動(dòng)方式：處理設(shè)備的日用液箱應(yīng)就近設(shè)置： 3廢氣處理設(shè)備并聯(lián)運(yùn)行時(shí)，應(yīng)在每臺(tái)設(shè)備的入口設(shè)置電動(dòng) 或氣動(dòng)密閉風(fēng)閥，該風(fēng)閥在工作壓力下的泄漏率不應(yīng)大于1%，且 應(yīng)與對(duì)應(yīng)的廢氣處理設(shè)備聯(lián)鎖； 4嚴(yán)寒地區(qū)或寒冷地區(qū)的淋洗式廢氣處理裝置宜布置在室 內(nèi)，當(dāng)布置在室外時(shí)應(yīng)采取防凍措施

廢氣的排放濃度、排放速率及排氣筒高度應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《大 氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》GB16297的有關(guān)規(guī)定，排氣筒出口處風(fēng) 速宜為15m/s20m/s。

9.2.8化學(xué)氣相沉積設(shè)備區(qū)域及對(duì)應(yīng)吊頂空間內(nèi)應(yīng)設(shè)置不低于

9.2.9化學(xué)氣相沉積設(shè)備尾氣處理設(shè)備間應(yīng)設(shè)置不低于12次/h

衣間宜設(shè)置不低于5次/h的全室排風(fēng)系統(tǒng)。排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符 合下列規(guī)定： 1宜從下部區(qū)域排出總排風(fēng)量的2/3，上部區(qū)域排出總排風(fēng) 量的1/3；

衣間宜設(shè)置不低于5次/h的全室排風(fēng)系統(tǒng)。排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符 合下列規(guī)定：

宜從下部區(qū)域排出總排風(fēng)量的2/3，上部區(qū)域排出總排風(fēng) 量的1/3； 2換鞋柜宜設(shè)置局部排風(fēng)措施。

9.3.1凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風(fēng)宜集中處理，新風(fēng)處理機(jī)組的設(shè) 置應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 送風(fēng)機(jī)應(yīng)采取自動(dòng)調(diào)速措施： 2空氣宜經(jīng)過粗效、中效、亞高效過濾器或高效過濾器三級(jí) 處理； 3 新風(fēng)吸入口的位置應(yīng)遠(yuǎn)離有害物或可燃物的排出口； 4新風(fēng)處理系統(tǒng)應(yīng)有良好的氣密性，在工作壓力下的漏風(fēng)率 不應(yīng)大于1%； 5 新風(fēng)處理機(jī)組的安裝高度應(yīng)滿足機(jī)組冷凝水的排出要求 9.3.2 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的循環(huán)風(fēng)宜采用循環(huán)空氣處理機(jī)組 處理。

9.3.4PVB切割裝配間凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

9.3.4PVB切割裝配間凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 應(yīng)對(duì)圍護(hù)結(jié)構(gòu)、人員、設(shè)備、物料等進(jìn)行散濕計(jì)算； 2 應(yīng)進(jìn)行濕負(fù)荷的平衡計(jì)算； 3 凈化空調(diào)系統(tǒng)的處理機(jī)組及除濕機(jī)組宜貼近生產(chǎn)車間； 4 凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)備、風(fēng)管及配件應(yīng)采取密閉措施； 5 凈化空調(diào)系統(tǒng)不宜采用回風(fēng)夾道、地溝等方式回風(fēng)； 6 凈化空調(diào)系統(tǒng)的回風(fēng)管宜在低濕空間內(nèi)敷設(shè)。 3.5 潔凈室的送風(fēng)量應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)知

9.3.5潔凈室的送風(fēng)量應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)

標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50472的有關(guān)規(guī)定

9.4.1廠房中防煙排煙系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè) 計(jì)防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定，并應(yīng)符合下列規(guī)定： 1防煙樓梯間、前室或合用前室宜設(shè)置自然排煙設(shè)施，當(dāng)不 能滿足自然排煙要求時(shí)，應(yīng)設(shè)置機(jī)械防煙系統(tǒng)； 2廠房中不具備自然排煙的疏散走廊，應(yīng)設(shè)置機(jī)械排煙 系統(tǒng)。

2廠房中不具備自然排煙的疏散走廊，應(yīng)設(shè)置機(jī)械排煙 系統(tǒng)。 9.4.2潔凈室（區(qū)）排煙系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工 業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50472的有關(guān)規(guī)定。當(dāng)有潔凈度等級(jí)要 求的房間內(nèi)人員密度小于0.02人/m，且安全疏散距離小于80m 時(shí)，潔凈室（區(qū)）可不設(shè)機(jī)械排煙設(shè)施。

9.4.2潔凈室（區(qū)）排煙系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50472的有關(guān)規(guī)定。當(dāng)有潔凈度等 的房間內(nèi)人員密度小于0.02人/m，且安全疏散距離小于 十，潔凈室（區(qū)）可不設(shè)機(jī)械排煙設(shè)施

9.4.3潔凈室（區(qū)）的排煙系統(tǒng)應(yīng)有防止室外氣流倒灌的

10.1.1薄膜太陽(yáng)能電池工廠的室內(nèi)給水排水設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó) 家標(biāo)準(zhǔn)《建筑給水排水設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50015的有關(guān)規(guī)定，并應(yīng)符合 下列規(guī)定： 1潔凈室內(nèi)不宜穿過與該潔凈室無(wú)關(guān)的給水排水管道，當(dāng)必 穿過時(shí)，應(yīng)采取可靠的防滲漏、防結(jié)露施； 2潔凈區(qū)內(nèi)的排水管道不宜直接理地敷設(shè)。 10.1.2水質(zhì)、水溫、水壓、水量及給水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)工藝生產(chǎn)要求 確定。

10.2.1下列場(chǎng)所應(yīng)設(shè)置緊急沖身洗眼器，沖身洗眼器的服務(wù)半 徑不應(yīng)大于15m： 1毒性、腐蝕性特種氣體的儲(chǔ)存間及其他可能產(chǎn)生泄漏，井 對(duì)人員造成傷害的區(qū)域； 2危險(xiǎn)化學(xué)品儲(chǔ)存、配制及其他可能產(chǎn)生泄漏，井對(duì)人員造 成傷害的區(qū)域。 10.2.2給水、排水管道的管材應(yīng)符合下列規(guī)定： 1給水管道的材質(zhì)及接口應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝對(duì)水質(zhì)、水壓、水 溫等的要求； 2排水管道的材質(zhì)及接口應(yīng)滿足生產(chǎn)廢水水質(zhì)的要求。 10.2.3生產(chǎn)廢水、生活污水系統(tǒng)應(yīng)分別設(shè)置。 10.2.4生產(chǎn)廢水收集系統(tǒng)宜設(shè)置通氣管，通氣管應(yīng)高出屋面2m 1025生產(chǎn)廠良層面雨水排水的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建

10.2.1下列場(chǎng)所應(yīng)設(shè)置緊急沖身洗眼器，沖身洗眼器的服務(wù)半 徑不應(yīng)大于15m： 1毒性、腐蝕性特種氣體的儲(chǔ)存間及其他可能產(chǎn)生泄漏，井 對(duì)人員造成傷害的區(qū)域； 2危險(xiǎn)化學(xué)品儲(chǔ)存、配制及其他可能產(chǎn)生泄漏，并對(duì)人員造 成傷害的區(qū)域。

2排水管道的材質(zhì)及接口應(yīng)滿足生產(chǎn)廢水水質(zhì)的要求。 10.2.3生產(chǎn)廢水、生活污水系統(tǒng)應(yīng)分別設(shè)置。 10.2.4生產(chǎn)廢水收集系統(tǒng)宜設(shè)置通氣管，通氣管應(yīng)高出屋面2m。

筑給水排水設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50015的有關(guān)規(guī)定，并應(yīng)符合下列規(guī)定： 1屋面雨水排水管道的排水設(shè)計(jì)重現(xiàn)期不宜小于10年； 2屋面雨水排水工程與溢流設(shè)施的總排水能力不應(yīng)小于50 年重現(xiàn)期的雨水量； 3雨水管道不宜穿越潔凈室，必須穿越時(shí)應(yīng)采取防結(jié)露保溫 措施。 10.2.6潔凈室（區(qū)）內(nèi)地漏等排水設(shè)施的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo) 準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073的有關(guān)規(guī)定。 10.2.7對(duì)能溶于水且形成危害物的特殊氣體間的消防排水，應(yīng) 設(shè)置收集設(shè)施并排入廢水處理站處理后排放。 10.2.8當(dāng)設(shè)有廢水收集槽且采用提升泵輸送廢水時(shí)，廢水提升 泵宜設(shè)置應(yīng)急電源

10.3.1純水系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)純水系 統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50685的有關(guān)規(guī)定，并應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 純水系統(tǒng)循環(huán)回流水量不宜小于設(shè)計(jì)供水量的20%； 2 純水系統(tǒng)的回收率應(yīng)根據(jù)項(xiàng)目實(shí)際情況確定： 3 純水系統(tǒng)的管路布置應(yīng)確保用水點(diǎn)的水質(zhì)和水壓。 10.3.2 純水制備區(qū)域排水管道的管徑應(yīng)按照純水制備設(shè)備的瞬 時(shí)最大排水量確定

10.4工藝?yán)鋮s循環(huán)水

10.4.1工藝設(shè)備冷卻循環(huán)水的水質(zhì)、水溫、水壓應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)設(shè)備 要求確定。 10.4.2工藝?yán)鋮s循環(huán)水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)用水設(shè)備的布置情況、進(jìn)出 口溫度、使用壓力和水質(zhì)等要求確定。

口溫度、使用壓力和水質(zhì)等要求確定。 10.4.3工藝?yán)鋮s循環(huán)水系統(tǒng)的管材及配件應(yīng)根據(jù)水質(zhì)、水壓要 求確定。

10.4.4當(dāng)工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)的水溫與潔凈室的環(huán)境溫度不同時(shí)， 布置在潔凈室內(nèi)的工藝?yán)鋮s循環(huán)水管道應(yīng)采取保溫措施。 10.4.5工藝?yán)鋮s水循環(huán)水泵宜采用應(yīng)急備用電源；水泵應(yīng)采用 N十1備用，并應(yīng)采用變頻控制。 1046工藝?yán)鋮s水的補(bǔ)水水質(zhì)應(yīng)滿足工藝設(shè)備的要求

10.4.6工藝?yán)鋮s水的補(bǔ)水水質(zhì)應(yīng)滿足工藝設(shè)備的要求。

(10. 4. 7)

式中：V有效 集水箱（池）的有效容積（m）： K一一安全系數(shù)，取1.1~1.2； D一未充滿水管道的直徑（m）； L一一未充滿水管道的長(zhǎng)度（m）。 2集水箱（池）的最低液位應(yīng)滿足水泵吸水口需要的最小 沒深度。當(dāng)水泵吸水管的流速小于或等于0.6m/s時(shí)，最小沒 深度不應(yīng)小于0.3m；當(dāng)水泵吸水管的流速為1.2m/s時(shí)，最小 沒深度不應(yīng)小于0.6m。 3停泵時(shí)因重力流入集水箱（池）的管道水容量應(yīng)有溢流排 水的技術(shù)措施。

10.4.8工藝?yán)鋮s循環(huán)水系統(tǒng)的管道流速應(yīng)經(jīng)水力計(jì)算確定，任

10.5.1J 廢水系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工程環(huán)境保護(hù) 設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50814的有關(guān)規(guī)定，并應(yīng)滿足下列規(guī)定： 1應(yīng)根據(jù)廢水水量、水質(zhì)及環(huán)境影響評(píng)價(jià)報(bào)告及批復(fù)意見確 定處理流程； 2廢水處理設(shè)施及未端排放口宜設(shè)置在線監(jiān)測(cè)裝置；

3 廢水輸送管道不宜直接埋地敷設(shè)。 10.5.2 生產(chǎn)廢水系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 不同污染物的生產(chǎn)廢水宜分別設(shè)置： 2 廢液與生產(chǎn)廢水應(yīng)分別設(shè)置； 3 含有重金屬污染物的生產(chǎn)廢水應(yīng)設(shè)置單獨(dú)的收集和處理 系統(tǒng)。

10.6.1消防給水系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防 火規(guī)范》GB50016、《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50472、《自 動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50084、《消防給水及消火栓系統(tǒng)技 術(shù)規(guī)范》GB50974的有關(guān)規(guī)定，并應(yīng)符合下列規(guī)定： 1潔凈室生產(chǎn)區(qū)應(yīng)設(shè)置室內(nèi)消火栓； 2潔凈生產(chǎn)區(qū)設(shè)置自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)時(shí)，噴水強(qiáng)度不應(yīng)小于 8L/（min·m），作用面積不應(yīng)小于160m； 3潔凈室向下氣流區(qū)域內(nèi)應(yīng)采用快速響應(yīng)噴頭： 4布置在高溫設(shè)備區(qū)頂部的噴頭，其公稱動(dòng)作溫度應(yīng)根據(jù)該 區(qū)域局部環(huán)境溫度確定。 10.6.2氣體滅火系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《氣體滅火系 統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50370和《二氧化碳滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50193的有關(guān)規(guī)定。 10.6.3泡沫滅火系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《泡沫滅火系統(tǒng) 設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50151的有關(guān)規(guī)定；水噴霧滅火系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn) 國(guó)寶

設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50151的有關(guān)規(guī)定；水噴霧滅火系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《水噴霧滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50219的有關(guān)規(guī)定