國家市場監(jiān)督管理總局 發(fā)布 國家標準化管理委員會

GB/T 17473.72022

本文件按照GB/T1.1一2020《標準化工作導(dǎo)則第1部分：標準化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的 本文件是GB/T17473《微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法》的第7部分。GB/T17473已經(jīng) 人下部分： 第1部分：固體含量測定； 一第2部分：細度測定； 一第3部分：方阻測定； 一 第4部分：附著力測試； 一第5部分：黏度測定； 第6部分：分辨率測定； 第7部分：可焊性、耐焊性測定 本文件代替GB/T17473.7一2008《微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法可焊性、耐焊性測定 /T17473.7一2008相比，除結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性改動外，主要技術(shù)變化如下： 更改了供測試選用基片的規(guī)定和要求（見5.1，2008年版的3.1）； D 刪除了“最高使用溫度為1000℃”（見2008年版的4.2）； C 更改了選用干燥設(shè)備的規(guī)定（見6.4，2008年版的4.4）； 更改了漿料印刷圖案面積的規(guī)定（見7.2，2008年版的5.2）； 更改了焊料設(shè)定溫度的規(guī)定（見8.1.2，2008年版的5.5.1、5.6.1）； 更改了可焊性試驗浸焊時間的規(guī)定（見8.2.6，2008年版的5.5.6）； 8） 更改了耐焊性試驗浸焊時間的規(guī)定（見8.3.2，2008年版的5.6.3）。 請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任。 本文件由中國有色金屬工業(yè)協(xié)會提出。 本文件由全國有色金屬標準化技術(shù)委員會（SAC/TC243）歸口。 本文件起草單位：貴研鉑業(yè)股份有限公司、有色金屬技術(shù)經(jīng)濟研究院有限責(zé)任公司。 本文件主要起草人：梁詩宇、李文琳、劉繼松、朱武勛、向磊、由相亮、李江民、樊明娜、馬曉峰 本文件于1998年首次發(fā)布，2008年第一次修訂，本次為第二次修訂

隧道標準規(guī)范范本GB/T17473.72022

GB/T17473《微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法》是微電子技術(shù)用貴金屬漿料產(chǎn)品檢驗項目的測 方法標準，為了方便管理和使用，由7個部分組成。 第1部分：固體含量測定。根據(jù)加熱前后的質(zhì)量差測定漿料中固體組分的含量， 第2部分：細度測定。根據(jù)細度計表面溝槽中縱向條紋出現(xiàn)的位置，目測確定漿料中固體顆粒 物的大小。 第3部分：方阻測定。是將貴金屬漿料通過絲網(wǎng)印刷成規(guī)定尺寸的圖形，經(jīng)固化或燒結(jié)后，測 量膜層的電阻從而計算出對應(yīng)的方阻 第4部分：附著力測試。是將銅線垂直焊接在燒結(jié)好的貴金屬漿料膜層上，置于拉力機上勻速 將其從基片上拉脫，以脫落時拉力的平均值來表征漿料在基材上的附著力。 第5部分：黏度測定。是將旋轉(zhuǎn)黏度計的測試軸以一定的轉(zhuǎn)速在恒溫的漿料中旋轉(zhuǎn)，通過測量 黏滯阻力引起的扭矩，對漿料黏度進行測定。 第6部分：分辨率測定。是將貴金屬漿料通過絲網(wǎng)印刷成規(guī)定尺寸的圖形，經(jīng)固化或燒結(jié)后， 用顯微鏡觀察和測量膜層圖形的線寬度和線間距，對漿料的分辨率進行測定。 第7部分：可焊性、耐焊性測定。根據(jù)熔融焊料在漿料燒結(jié)（固化）后的金屬導(dǎo)體膜層上的浸泡 飽和程度，用放大鏡目測確定可焊性。根據(jù)金屬導(dǎo)體膜在熔融焊料中浸蝕前后面積的變化，用 放大鏡且測確定耐焊性

GB/T17473《微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法》是微電子技術(shù)用貴金屬漿料產(chǎn)品檢驗項目的測 方法標準，為了方便管理和使用，由7個部分組成。 第1部分：固體含量測定。根據(jù)加熱前后的質(zhì)量差測定漿料中固體組分的含量。 第2部分：細度測定。根據(jù)細度計表面溝槽中縱向條紋出現(xiàn)的位置，目測確定漿料中固體顆粒 物的大小。 第3部分：方阻測定。是將貴金屬漿料通過絲網(wǎng)印刷成規(guī)定尺寸的圖形，經(jīng)固化或燒結(jié)后，測 量膜層的電阻從而計算出對應(yīng)的方阻 第4部分：附著力測試。是將銅線垂直焊接在燒結(jié)好的貴金屬漿料膜層上，置于拉力機上勻速 將其從基片上拉脫，以脫落時拉力的平均值來表征漿料在基材上的附著力。 第5部分：黏度測定。是將旋轉(zhuǎn)黏度計的測試軸以一定的轉(zhuǎn)速在恒溫的漿料中旋轉(zhuǎn)，通過測量 黏滯阻力引起的扭矩，對漿料黏度進行測定。 第6部分：分辨率測定。是將貴金屬漿料通過絲網(wǎng)印刷成規(guī)定尺寸的圖形，經(jīng)固化或燒結(jié)后， 用顯微鏡觀察和測量膜層圖形的線寬度和線間距，對漿料的分辨率進行測定， 第7部分：可焊性、耐焊性測定。根據(jù)熔融焊料在漿料燒結(jié)（固化）后的金屬導(dǎo)體膜層上的浸泡 飽和程度，用放天鏡目測確定可焊性。根據(jù)金屬導(dǎo)體膜在熔融焊料中浸蝕前后面積的變化，用 放大鏡目測確定耐焊性

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微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法

警示一一使用本文件的人員應(yīng)有正規(guī)實驗室工作的實踐經(jīng)驗。本文件并未指出所有可能的安全 使用者有責(zé)任采取適當(dāng)?shù)陌踩�和健康措施，并保證符合國家相關(guān)法規(guī)規(guī)定的條件。

本文件規(guī)定了微電子技術(shù)用貴金屬漿料的可焊性、耐焊性測定方法 本文件適用于微電子技術(shù)用貴金屬漿料的可焊性、耐焊性測定。 非貴金屬漿料可焊漿料亦可參照使用

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文 件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于 本文件。 GB/T3131 錫鉛釬料 GB/T20422無鉛釬料

本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義

根據(jù)熔融焊料在漿料燒結(jié)（固化）后的金） 泡飽和程度，用放大鏡目測確定其可 悍性。 根據(jù)金屬導(dǎo)體膜在熔融焊料中浸 用放大鏡目測確定其耐焊性

根據(jù)熔融焊料在漿料燒結(jié)（固化）后的金屬導(dǎo)體膜層上的浸泡飽和程度，用放大鏡目測確定其可 焊性。 根據(jù)金屬導(dǎo)體膜在熔融焊料中浸蝕前后面積的變化，用放大鏡目測確定其耐焊性

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6.1絲網(wǎng)印刷機。 6.2隧道燒結(jié)爐，控溫精度為士10℃。 6.3容量不小于150mL的焊料槽。 6.4干燥設(shè)備

7.1將送檢漿料攪拌均勻。 7.2在選用的基片上用絲網(wǎng)印刷機印刷規(guī)格為2mmX2mm印刷圖案，制出供可焊性、耐焊性測試的 圖案共10片。 7.3將印刷試樣靜置5min～10min，然后在干燥設(shè)備中于100℃150℃烘干。 7.4烘干試樣在隧道燒結(jié)爐中燒成膜厚為11um±2um

試驗在溫度15℃～35℃園林設(shè)計圖紙、效果圖， 75%，大氣壓力86kPa～106kPa環(huán)境下進行 無鉛釬料的設(shè)定溫度為255℃土5℃，錫鉛釬料的設(shè)定溫度為235℃土5℃

3.1.1試驗在溫度15℃~35 相劉對業(yè)度 ，大氣壓力86kPa～106kPa環(huán)境下進 8.1.2無鉛針料的設(shè)定溫度為255℃ 土5℃，錫鉛釬料的設(shè)定溫度為235℃土5℃

8.2.1根據(jù)焊料類型設(shè)定相應(yīng)的焊料溫度。 8.2.2 除去焊料表面焊渣和氧化膜。 8.2.3 將試樣浸助焊劑，在濾紙上貼1s。 8.2.4 將浸過助焊劑的試樣浸入焊料槽， 8.2.5 導(dǎo)體浸入焊料界面深度為2mm以下。 8.2.6 浸人時間為2s士1s。 8.2.7 將焊好的試樣取出清洗，除去殘余的助焊劑。 8.2.8 在放大鏡下觀察焊料浸潤基片印刷圖案導(dǎo)體膜的情況。

8.3.1焊料試驗按8.2.1~8.2.5和8.2.7操作。 8.3.2浸人時間為10s±1s。 8.3.3在放大鏡下觀察基片印刷圖案導(dǎo)體膜接受焊料的情況。

9.1.1在放大鏡下觀察，若基片印刷圖案導(dǎo)電膜接受焊錫的面積大于等于圖案面積的9/10，則為可焊 性好，若基片印刷圖案導(dǎo)電膜接受焊錫的面積小于圖案面積的9/10，則為可焊性差。

9.1.1在放大鏡下觀察，若基片印刷圖案導(dǎo)電膜接受焊錫的面積大于等于圖案面積的9/10，！ 性好，若基片印刷圖案導(dǎo)電膜接受焊錫的面積小于圖案面積的9/10，則為可焊性差。

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9.2.1在放大鏡下觀察，若基片印刷圖案導(dǎo)電膜接受焊錫的面積天于等于圖案面積的9/10，則為耐焊 性好，若基片印刷圖案導(dǎo)電膜接受焊錫的面積小于圖案面積的9/10，則為耐焊性差。 9.2.2一批試樣中若出現(xiàn)一個耐焊性差的試樣，則重新取雙倍試樣進行試驗，重復(fù)8.3操作礦山標準規(guī)范范本，并按照 9.2.1對試樣的耐焊性進行評判。雙倍試樣中若出現(xiàn)一個耐焊性差的試樣，則該批試樣耐焊性差

試驗報告至少應(yīng)給出以下幾個方面的內(nèi)容： 樣品； GB/T17473.7—2022; 測定結(jié)果； 觀察到的異�，F(xiàn)象； 試驗日期，